台積電先前一再表示,半導體設備製造商艾司摩爾的高數值孔徑極紫外光機台,也就是High-NA EUV曝光機太過昂貴,2026年前使用沒有太大的經濟效益,但近來台積電總裁魏哲家密訪歐洲ASML總部,讓外界不禁猜測,台積電是否提前為了2奈米以下的超先進製程進行布局,準備與英特爾、三星展開搶購先進設備的第一波大戰。
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