榮宗科技導入並銷售PICARRO高靈敏AMC監控系統　打造半導體氣體污染防護新標準

隨著半導體製程不斷邁向先進節點，空氣中極低濃度的氣體污染（AMC, Airborne Molecular Contaminants）已成為影響晶圓良率與製程穩定的重要隱憂。榮宗科技（JCT Technology）近期導入並正式銷售全球頂尖的 PICARRO CRDS（Cavity Ring-Down Spectroscopy）光腔衰減光譜監控系統，結合自家研發的高效率化學濾網與再生技術，打造從監測到防護的完整解決方案，為半導體廠建立全方位氣體污染防護新標準。

榮宗科技表示，PICARRO 系統具備 1 ppb 等級超高靈敏度，可即時偵測 VOCs、NH₃、H₂S、Acetone 等氣態污染物。其核心採用 CRDS 光學量測技術，以雷射光在高反射鏡腔內的衰減時間變化來判定氣體分子濃度，不受光源強弱影響，量測結果精準穩定，能有效預防污染事件與良率異常。目前該系統已成功於多家晶圓大廠導入，曾在實際應用中偵測並完整記錄為期24小時的重大VOC事件，展現出極高的即時監控與早期預警能力。

除了導入應用外，榮宗科技亦是PICARRO監控設備在台灣的專業銷售與技術服務單位，提供從規劃、安裝、校正到數據分析的全方位支援，協助客戶建構高標準的AMC即時監控系統。

榮宗科技指出，PICARRO監測系統搭配公司自有的 低阻抗高容塵濾網與再生化學濾網，可在前段製程有效降低能耗與維持氣流穩定，在後段製程則延長濾網壽命、減少廢棄物，形成「監測＋防護＋再生」三層一體的全方位防護機制。同時，公司積極落實 ESG 永續理念，未來將廢棄濾網轉化為再生固態燃料（solid fuel），實現循環價值鏈，協助半導體客戶達到節能減碳與環境永續雙重目標。

榮宗科技董事長表示：「透過 PICARRO 的高靈敏監控技術與我們在化學濾網及再生領域的整合能力，能協助客戶打造潔淨、安全、節能的製程環境。這不只是品質的保障，更是產業邁向永續製造的重要關鍵。」

榮宗科技秉持「創新、永續、共榮」的核心精神，持續推動半導體廠務環境從「被動防護」邁向「主動監測」，以創新科技與綠色思維引領產業邁向潔淨製造與永續未來。